1、设备参数

1)扫描模式：ScanAsyt(全自动扫描模式)、Contact AFM(接触模式)、Tapping mode(轻敲模式)、LFM(横向力显微镜)、液态下接触模式、Force distance(力曲线)、Force volume(力曲线阵列);

2)三个全数字锁相放大器，提供定量相位成像功能;数据材料铝达到50MHz，控制器共有10个DAC和10个ADC;每条扫描线可获得更多的数据点(≥15000);可8通道同时采集1024*1024;3通道同时采集5120*5120;

3)噪音：RMS < 0.035纳米(垂直方向)，RMS < 2pm (探针悬臂梁偏转);

4)扫描范围 100μm*100μm *15μm，三方向闭环扫描器。最快扫描速度150lines/s，高分辨模式，1.5μm扫描高度，极限分辨率：xy < 0.09nm;Z < 0.04nm;

5)测试环境：空气，液相;温度：RT-80℃ ;

6)可测量超光滑表面，RMS测试精度≤0.04nm;可测量表面类型：高分子样品、金属样品、陶瓷样品、半导体样品、生物样品 ;

7) 样品台：电动样品台，移动范围6mm*6mm。

2、简介

原子力显微镜是一种通过检测样品表面与微型力敏感探针之间的弱相互作用的变化来获得样品表面微观形貌及力学性能等的分析仪器。

3、功能(应用)

1)样品表面微观形貌表征;

2)样品表面纳米力学测试(如黏附力测试及摩擦力测试，等);

3)材料性能(如模量、硬度等)测试;

4)获取多相材料相图。