1、设备参数

1)电流测量分辨率：10fA;

2)电压测量分辨率：0.5uV;

3)电压输出范围：±200V;

4)电流输出范围：±1A;

5)具有4个源测量单元，分别对CMOS,FET器件的三个端子和衬底施加激励和测试;

6)支持准静态和中频电容-电压测试，频率范围：1kHz~5MHz;

7)电容C测量精度：±0.1%@1kHz 100nF;

8)支持电容采样的C-t功能;

9)IV-CV测试切换开关，满足一次连接多次测量的;

10)最小脉冲宽度：50ns。

2、简介

Keysight B1500A半导体参数分析仪是一款能够提供IV、CV、脉冲/动态IV等丰富功能的综合分析仪，支持器件、材料、半导体、有源/无源器件甚至几乎所有其他类型电子器件的电气表征和测试。

3、功能(应用)

1)在0.1fA~1A/0.5µV~200V范围内执行精确的电流-电压(IV)测量，支持点测量、扫描测量、采样和脉冲测量;

2)在1kHz至5MHz频率范围内执行交流电容测量，支持准静态电容-电压(QS-CV)测量；

3)先进的脉冲IV测量和超快IV测量，最低采样间隔为5ns(200MSa/s)；

4)高达40V的高压脉势，适用于非易失存储器测试。