1、设备参数

1)设备型号：CMA-600-75-4-16；

2)工作温度范围：+10℃~+30℃；

3)数字图像分辨率：6400万像素；

4)CMOS相机帧频：75fps；

5)最大测量视场：4微米(600mm×600mm)，1.5微米(240mm×240mm)；

6)三维坐标分辨率：X/Y：75微米，Z：5微米；

7)4M位移数据输出速率：不大于1秒；

8)单相机标定精度：1.4微米。

2、简介

目前能够实现全场离面位移测量的主要是各种光学测试技术，其中：比较成熟的几种方法有电子散斑干涉技术，摄影测量技术，数字图像相关技术，投影条纹方法等。这些方法各有其特定的应用范围和环境，测量范围、测量面积和分辨率也各不相同。投影条纹方法因光路简单及抗振性较好被广泛应用于多种现场测量，测量面积可以简单地通过改变测量距离进行调整，通常情况下可以达到1/10条纹节距的测量分辨率。

3、功能(应用)

投影云纹设备由16相机阵列、云纹光栅投影系统、标定器、样品台和主显示器组成，其作用是实现全场离面位移测量，其特点在于三维大面积非接触式的光学测量方式，主要适用于不可在表面进行预处理的微电子器件翘曲变形测量，以及电子封装模块中存在的大面积翘曲变形测量。