纳米操纵平台

来源:betway必威本站编辑点击:时间:2021-04-13

1、设备参数

1)单一40μm大量程高精度扫描器;

扫描隧道STM X-Y向0. 1nm,Z向0. 01nm,HOPG原子验证;

原子力AFM (接触) X-Y向0. 2nm,Z向0. 03nm,云母晶格验证;

原子力AFM (轻敲) X-Y向0. 2nm,Z向0. 1nm;

2)样品台尺寸:样品直径≤80mm(最大可容纳样品直径80mm),厚度≤30mm;

3)纳米加工:刻蚀模式(电刻蚀/力刻蚀),刻蚀轨迹(矢量式/图形式);

4)超级曲线测量模式:可以任意设置所有的AD作为Y信号,所有的DA作为X信号进行曲线扫描,比如I-V、I-Z、力-距 离、振幅-距离、频率-相位、相位-距离、频率振幅等等曲线;

5)膜厚/台阶测量功能:用电控样品移动平台进行薄膜、台阶边沿的定位;

6)软件系统:

四窗口图像界面,16个可选数据通道,可同时观察其中任意4个不同数据通道实时同步像,扫描图像和当前全部工作环境参数同步保存;

任意剖面分析功能:可在图像上设置任意曲线,得到该曲线的剖面图;

图像处理软件:3D显示,滤波处理,图像修饰,边缘增强、形态学处理、图像格式转换,图像几何变换、调色板设置等;

数据分析软件:粗糙度分析,颗粒度分析,剖面分析,膜厚分析、台阶分析、数据统计、摩擦力分析、Bearing分析和比较、功率谱分析和比较、自相关/互相关分析、图像相加减功能、各种曲线统计/分析等;

2、简介

1)通过对颗粒的局部精确定位,可以对纳米管、分子、单电子器件、量子光学器件等进行构造或分析;

2)应用范围广,可用于表面观察、尺寸测定、表面粗糙测定、颗粒度解析;

3)分辨力能力远远超过扫描电子显微镜(SEM),以及光学粗糙度仪。

3、功能(应用)

利用扫描隧道显微镜、原子力显微镜还可研制纳米级电子(量子)器件,实现原子操纵,进行纳米加工,其市场前景及在未来国民经济中的作用非常巨大。