1、设备参数

1)单一40μm大量程高精度扫描器；

扫描隧道STM X-Y向0. 1nm，Z向0. 01nm，HOPG原子验证；

原子力AFM (接触) X-Y向0. 2nm，Z向0. 03nm，云母晶格验证；

原子力AFM (轻敲) X-Y向0. 2nm，Z向0. 1nm；

2)样品台尺寸：样品直径≤80mm(最大可容纳样品直径80mm)，厚度≤30mm；

3)纳米加工：刻蚀模式(电刻蚀/力刻蚀)，刻蚀轨迹(矢量式/图形式)；

4)超级曲线测量模式：可以任意设置所有的AD作为Y信号，所有的DA作为X信号进行曲线扫描，比如I-V、I-Z、力-距 离、振幅-距离、频率-相位、相位-距离、频率振幅等等曲线；

5)膜厚/台阶测量功能：用电控样品移动平台进行薄膜、台阶边沿的定位；

6)软件系统:

四窗口图像界面，16个可选数据通道，可同时观察其中任意4个不同数据通道实时同步像，扫描图像和当前全部工作环境参数同步保存；

任意剖面分析功能：可在图像上设置任意曲线，得到该曲线的剖面图；

图像处理软件：3D显示，滤波处理，图像修饰，边缘增强、形态学处理、图像格式转换，图像几何变换、调色板设置等；

数据分析软件：粗糙度分析，颗粒度分析，剖面分析，膜厚分析、台阶分析、数据统计、摩擦力分析、Bearing分析和比较、功率谱分析和比较、自相关/互相关分析、图像相加减功能、各种曲线统计/分析等；

2、简介

1)通过对颗粒的局部精确定位，可以对纳米管、分子、单电子器件、量子光学器件等进行构造或分析；

2)应用范围广，可用于表面观察、尺寸测定、表面粗糙测定、颗粒度解析；

3)分辨力能力远远超过扫描电子显微镜(SEM)，以及光学粗糙度仪。

3、功能(应用)

利用扫描隧道显微镜、原子力显微镜还可研制纳米级电子(量子)器件，实现原子操纵，进行纳米加工，其市场前景及在未来国民经济中的作用非常巨大。